Hochpräzise Messung des spezifischen Widerstands und des Schichtwiderstands

Vier-Punkt-Sonden-Tester

Messen Sie den spezifischen Widerstand, den Schichtwiderstand und den Volumenwiderstand von Dünnschichten, Halbleitern, Siliziumwafern und Feststoffen mit laborgenauer Präzision. Die Tsinghua-Universität, die Beihang-Universität und die University of Queensland vertrauen auf dieses Gerät.

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✓ spezifischer Widerstand ✓ Flächenwiderstand ✓ Volumenwiderstand ✓ PC-Software im Lieferumfang enthalten ✓ Automatische Testplattform verfügbar

Von führenden Forschungseinrichtungen geschätzt

🎓
Tsinghua-Universität
Fachbereich Materialwissenschaften.
🎓
Beihang Universität
Forschungslabor für Elektronik
🎓
Universität von Queensland
Australien
🏭
20+ Jahre
Erfahrung in der Fertigung

Was ist ein Vierpunkt-Messgerät?

Ein Vierpunkt-Messgerät misst den elektrischen Widerstand, den spezifischen Widerstand und den Flächenwiderstand fester Materialien, indem es Strom über zwei äußere Messspitzen zuführt und die Spannung zwischen zwei inneren Messspitzen misst. Durch dieses Vierpunktverfahren werden Kontaktwiderstände aus der Messung eliminiert, wodurch eine deutlich höhere Genauigkeit als bei Zweipunktverfahren erzielt wird.

Es handelt sich um das Standardverfahren in der Materialwissenschaft und Halbleiterforschung zur Charakterisierung von Dünnschichten, Halbleiterwafern, leitfähigen Beschichtungen und festen Volumenproben.

Anmerkung: Vierpunkt-Messgeräte sind ausschließlich für feste Materialien ausgelegt. Flüssigkeiten und Pulver können nicht direkt gemessen werden – flüssige Proben müssen vor der Messung zunächst zu einem dünnen Film verfestigt werden.

Was lässt sich messen?

✓ Dünnschichten
✓ Siliziumwafer
✓ Halbleitermaterialien
✓ Leitfähige Beschichtungen
✓ ITO-Glas
✓ Metallfolien
✓ Schüttgutproben
✓ Verfestigte Dünnschichten

Zielanwendungen

✗ Flüssige Proben
✗ Pulverförmige Materialien

Wählen Sie Ihr Modell

Drei Modelle für unterschiedliche Laboranforderungen – vom manuellen Einstiegsmodell bis hin zu vollautomatischen Hochdurchsatz-Tests.

SZT-2A Vierpunkt-Prüfgerät
Einstiegsstufe

SZT-2A

Kompakt und benutzerfreundlich. Manuelle Bedienung mit spezieller PC-Software. Ideal für Standard-Widerstandsmessungen an Dünnschichten. Wolframsonden, automatischer Korrekturfaktor, LCD-Anzeige.

  • Manueller Sondenbetrieb
  • LCD-Anzeige
  • PC-Software im Lieferumfang enthalten
  • Automatischer Korrekturfaktor
  • 1 mm Wolfram-Sonden
Details zum SZT-2A anzeigen
Am beliebtesten
SZT-2B Vierpunkt-Messgerät
Standard

SZT-2B

Hochentwickelte Elektronik mit übersichtlicher LCD-Anzeige und vollständiger PC-Software-Integration. Geeignet für vielfältige Anwendungen in Laboren und in der Halbleiterforschung, die eine höhere Messgeschwindigkeit und Datenverwaltung erfordern.

  • Fortschrittliche Messschaltungen
  • Übersichtliche LCD-Benutzeroberfläche
  • PC-Software mit Datenexportfunktion
  • Schneller Messzyklus
  • Unterstützung bei der Prüfung von Halbleitern
Details zu SZT-2B anzeigen
SZT-2C Vier-Punkt-Sondenprüfgerät
Fortgeschritten

SZT-2C

Umfassende Automatisierungsunterstützung mit anpassbarer Testplattform. Ideal für industrielle und Forschungsumgebungen mit hohem Durchsatz. Präzise Wolframsonden, automatisierte Datenanalyse und anpassbarer Probentisch.

  • Unterstützung für automatisierte Testplattformen
  • Anpassbarer Probentisch
  • Automatisierte Datenanalyse
  • Industrie- und Forschungsqualität
  • Hohe Durchsatzkapazität
Details zum SZT-2C anzeigen

Detaillierter Modellvergleich

Vollständige technische Daten für alle drei Modelle. Alle QSNTECH-Messgeräte erreichen eine Messunsicherheit von ≤2% und liegen damit deutlich unter dem Branchenstandard von ≤5%.

Spezifikation SZT-2A SZT-2B SZT-2C
Resistivität Bereich 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω·cm 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω·cm 10-⁵ ~ 10⁵ Ω-cm
Schichtwiderstand 10⁻⁴ bis 10⁵ Ω/□ 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□
Widerstandsbereich 10⁻⁴ bis 10⁵ Ω 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω 10-⁵ ~ 10⁵ Ω
Aktueller Ausgang DC 0–100 mA
10 μA / 100 μA / 1 / 10 / 100 mA
DC 0–100 mA
1 / 10 / 100 μA, 1 / 10 / 100 mA
0,1 μA–100 mA
Stufenlos einstellbar
Messfehler ±0,51 TP3T ±1 Stelle ±0,51 TP3T ±1 Stelle ±0,11 TP3T (Spannung)
Unsicherheit ≤2% ≤2% ≤2%
Anzeige 4½-stelliges LCD-Display LCD 4½-stelliges Farb-LCD
Abstand der Sonde 1mm 1mm 1 mm ±0,01 mm
Anpassbar
Material der Sonde Wolframkarbid Wolframkarbid Wolframkarbid
Stichprobengröße Ø 5–200 mm
Länge ≤ 400 mm
Ø 5–200 mm
Länge ≤ 400 mm
Anpassbar
Korrekturfaktor ✓ Automatisch ✓ Automatisch ✓ Automatisch
PC-Software ✓ Im Lieferumfang enthalten ✓ Im Lieferumfang enthalten ✓ USB + Software
Automatisierte Testplattform - Optional ✓ Im Lieferumfang enthalten
Stromversorgung 220 V ±10%
50/60 Hz < 35 W
220 V ±10%
50/60Hz
220 V ±10%
50/60Hz
Am besten für Standardmäßige Verwendung im Labor
Dünnschichten und Wafer
Forschung und Halbleiter
Größter Messbereich
Hoher Durchsatz
Industrie und Automatisierung

Anmerkung zum Korrekturfaktor: Alle drei Modelle wenden den geometrischen Korrekturfaktor (basierend auf der Smits-Formel) automatisch entsprechend der Form und den Abmessungen Ihrer Probe an. Geben Sie einfach die Dicke und den Durchmesser der Probe ein – das Gerät berechnet den korrekten Faktor ohne manuelle Anpassung. Dies ist besonders wichtig für Proben, die im Verhältnis zum Sondendistanz nicht unendlich groß sind.

Die vollständigen Datenblätter stehen unten zum Download bereit. Kontaktieren Sie uns, um die Kompatibilität mit Ihrer spezifischen Probenart zu klären.

Warum QSNTECH im Vergleich zu anderen Herstellern?

≤2%
Messunsicherheit
vs ≤5% – typisch für inländische Wettbewerber
0,1 mΩ
Mindestauflösung
Hochpräzise Schaltungen für Proben mit geringem Widerstand
WC
Sonden aus Wolframkarbid
Besser als die von anderen Marken verwendeten Sonden aus Schnellarbeitsstahl
Auto
Korrekturfaktor
Keine manuelle Einstellung erforderlich – alle Modelle

Leitfaden zur Sondenauswahl

Die Sonde ist die wichtigste Komponente in einem Vierpunkt-Messsystem. Die Wahl der richtigen Sondenspitzengeometrie und des richtigen Abstands für Ihren Probentyp wirkt sich direkt auf die Messgenauigkeit aus.

Standard-Wolframsonden

Spitzenradius 1 mm. Geeignet für die meisten Dünnschicht- und Feststoffproben. Standard-Sondenabstand von 1 mm.

Am besten geeignet für: Allgemeine Laboranwendungen, Dünnschichten, Halbleiterwafer

Feinspitzen-Sonden

Kleinere Kontaktfläche für empfindliche oder dünne Proben, bei denen ein geringerer Sondendruck und minimale Oberflächenbeschädigungen erforderlich sind.

Am besten geeignet für: empfindliche Folien, weiche Halbleiteroberflächen

Benutzerdefinierter Sondenabstand

Für bestimmte Probenabmessungen oder Forschungsanforderungen sind auch Sonderabstände zwischen den Sonden erhältlich. Bitte teilen Sie uns Ihre Spezifikationen mit.

Am besten geeignet für: Maßgeschneiderte Untersuchungen, nicht standardmäßige Stichprobengrößen

Lesen Sie den vollständigen Leitfaden zur Sondenauswahl →
Automatische Vier-Sonden-Testplattform

Optionales Upgrade

Warum sollten Sie sich für die automatische Testplattform entscheiden?

Das manuelle Anbringen der Messspitzen führt zu Schwankungen bei der ausgeübten Kraft – eine wesentliche Ursache für Messfehler. Die automatische Prüfplattform beseitigt dieses Problem, indem sie bei jeder Messung einen gleichbleibenden, kontrollierten Druck der Messspitzen gewährleistet.

1
Gleichmäßiger Sondendruck
Beseitigt bedienerbedingte Schwankungen. Bei jeder Messung wird dieselbe kontrollierte Kraft angewendet.
2
Verlängerte Lebensdauer der Sonde
Ein kontrollierter Abstieg verringert die mechanische Belastung der Sondenspitzen, wodurch sich die Häufigkeit und die Kosten für den Austausch deutlich reduzieren.
3
Höherer Durchsatz
Schnellere Messzyklen mit wiederholbarer Positionierung. Ideal für die Qualitätskontrolle in der Produktion und für Probenahmen in der Forschung mit hohem Durchsatz.
4
Schutz von Proben
Verhindert Schäden an empfindlichen oder teuren Proben durch übermäßigen manuellen Druck.

Was ist im Lieferumfang enthalten?

Jedes System der SZT-Serie wird als komplettes, einsatzbereites Paket geliefert. Für den Messbetrieb sind keine zusätzlichen Komponenten erforderlich.

🖥️
Wichtigste Ausrüstung
Mit USB-Schnittstelle und 4½-stelligem LCD-Display
🔧
Automatischer Testrahmen
Automatische Erfassungsvorrichtung, regelt den Sondendruck
💾
PC-Software
Datenerfassung, -speicherung und -export
📖
Handbuch auf Englisch
Vollständige Betriebs- und Spezifikationsdokumentation
🔌
Kabel
Anschlusskabel für den Messkopf
📍
4-Punkt-Messkopf
Spitzen aus Wolframkarbid, 1 mm Abstand

Wer nutzt Vierpunkt-Messgeräte?

Unsere Geräte kommen in der akademischen Forschung, in staatlichen Labors und in industriellen Produktionsumgebungen zum Einsatz.

🎓

Fakultäten

Fachbereiche für Materialwissenschaften, Physik, Elektronik und Chemie, die Dünnschichtproben, Halbleitersubstrate und Forschungsproben untersuchen.

Tsinghua · Beihang · Queensland

🔬

Forschungseinrichtungen

Staatliche und private Forschungsinstitute, die fortschrittliche Werkstoffe, neuartige Beschichtungen und experimentelle Halbleiterstrukturen charakterisieren, wobei Messgenauigkeit und Rückverfolgbarkeit der Daten von entscheidender Bedeutung sind.

🏭

Halbleiter & Industrie

Qualitätskontrolle in der Produktion von Halbleiterwafern, Überwachung der Dünnschichtabscheidung, Überprüfung der Gleichmäßigkeit von ITO-Beschichtungen sowie Eingangskontrolle von Materialien in der Elektronikfertigung.

Technische Ressourcen

Ausführliche Anleitungen aus Sicht des Herstellers, die Ihnen bei der Auswahl, der Verwendung und der optimalen Nutzung Ihres Vierpunkt-Messsystems helfen sollen.

📋
So wählen Sie einen Vierpunkt-Sondenprüfer aus
Wichtige Parameter, die vor dem Kauf zu prüfen sind – Strombereich, Probengröße, Sondenabstand und Automatisierungsanforderungen.
🎓
Leitfaden zur Beschaffung für Universitätslabore
Praktischer Einkaufsleitfaden für die Fachbereiche Materialwissenschaften und Elektronik – was man festlegen sollte und was man vermeiden sollte.
🔬
Vierpunkt-Messsonde für Dünnschichten
So messen Sie den Schichtwiderstand und den spezifischen Widerstand von Dünnschichtproben unter Berücksichtigung von Korrekturfaktoren genau.
⚡
Vielfältige Anwendungsmöglichkeiten von Vier-Punkt-Sonden
Von Halbleiterwafern bis hin zu ITO-Glas – ein umfassender Überblick über Messanwendungen und Probenarten.
🤖
Automatische vs. manuelle Testplattform
Ausführlicher Vergleich zwischen automatischen und manuellen Messköpfen – Genauigkeit, Lebensdauer der Messköpfe, Durchsatz und Kosten.
🔩
Leitfaden zur Sondenauswahl
So wählen Sie die Geometrie, den Abstand und das Material der Messspitze für Ihren spezifischen Probentyp und Ihre Messanwendung aus.

Häufig gestellte Fragen

Kann ich Flüssigkeiten oder Pulver abmessen?

Nein. Das Vierpunkt-Messverfahren erfordert feste Proben mit einer stabilen, ebenen Oberfläche. Flüssigkeiten können nicht direkt gemessen werden. Handelt es sich bei Ihrer Probe um ein Material in flüssiger Phase, muss es vor der Messung zunächst als dünner Film aufgetragen oder verfestigt werden.

Was ist der Unterschied zwischen dem spezifischen Widerstand und dem Schichtwiderstand?

Der spezifische Widerstand (Ω·cm) ist eine vom Material selbst bestimmte Eigenschaft, die unabhängig von der Geometrie der Probe ist. Der Schichtwiderstand (Ω/□) wird bei dünnen Schichten mit gleichmäßiger Dicke verwendet – er gibt den Widerstand pro Quadrat beliebiger Größe an. Unsere Messgeräte können beide Werte direkt messen und anzeigen.

Welches Modell eignet sich für mein Universitätslabor?

Für die meisten materialwissenschaftlichen oder elektronischen Labore an Universitäten ist das Modell SZT-2A oder SZT-2B ausreichend. Wenn Ihr Labor große Probenmengen verarbeitet, Chargenprüfungen durchführen muss oder mit empfindlichen Wafern arbeitet, empfiehlt sich das Modell SZT-2C mit automatischer Prüfplattform.

Welche Probengröße und -dicke können gemessen werden?

Die SZT-Serie unterstützt eine Vielzahl von Probengrößen. Die kleinste nutzbare Probenfläche hängt vom Sondenabstand ab. Teilen Sie uns Ihre konkreten Probenabmessungen mit, damit wir die Kompatibilität prüfen und Korrekturfaktoren empfehlen können.

Bieten Sie PC-Software und Datenexport an?

Ja. Alle drei Modelle werden mit einer PC-Software zur Datenerfassung, -speicherung und zum Datenexport geliefert. Die Software zeigt die Messergebnisse in Echtzeit an und ermöglicht den Datenexport zur weiteren Analyse in Excel oder in Labordatenmanagementsystemen.

Können Sie international versenden und technischen Support anbieten?

Ja. Wir liefern an Universitäten, Forschungseinrichtungen und Importeure weltweit. Technische Unterlagen, Bedienungsanleitungen und Kundendienstleistungen werden auf Englisch bereitgestellt. Bitte kontaktieren Sie uns bezüglich der Lieferzeiten und der erforderlichen Zollunterlagen.

Möchten Sie bestellen oder haben Sie eine technische Frage?

Ganz gleich, ob Sie ein Standardmodell oder eine maßgeschneiderte Sondenkonfiguration benötigen oder besprechen möchten, welches System für Ihre Probenart und Ihren Forschungsablauf am besten geeignet ist – unser Team steht Ihnen gerne zur Seite.

📧 sales@testleadsworld.com 💬 WhatsApp: +86 13906512387 ⏱ Antwort innerhalb von 12 Stunden
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