Unser Standort
Raum 503, Block 1, Juzili-Gebäude, Sandun-Stadt, Hangzhou-Stadt, Provinz Zhejiang. China.
Präzision in jeder Verbindung
Hochpräzise Messung des spezifischen Widerstands und des Schichtwiderstands
Messen Sie den spezifischen Widerstand, den Schichtwiderstand und den Volumenwiderstand von Dünnschichten, Halbleitern, Siliziumwafern und Feststoffen mit laborgenauer Präzision. Die Tsinghua-Universität, die Beihang-Universität und die University of Queensland vertrauen auf dieses Gerät.
Von führenden Forschungseinrichtungen geschätzt
Ein Vierpunkt-Messgerät misst den elektrischen Widerstand, den spezifischen Widerstand und den Flächenwiderstand fester Materialien, indem es Strom über zwei äußere Messspitzen zuführt und die Spannung zwischen zwei inneren Messspitzen misst. Durch dieses Vierpunktverfahren werden Kontaktwiderstände aus der Messung eliminiert, wodurch eine deutlich höhere Genauigkeit als bei Zweipunktverfahren erzielt wird.
Es handelt sich um das Standardverfahren in der Materialwissenschaft und Halbleiterforschung zur Charakterisierung von Dünnschichten, Halbleiterwafern, leitfähigen Beschichtungen und festen Volumenproben.
Anmerkung: Vierpunkt-Messgeräte sind ausschließlich für feste Materialien ausgelegt. Flüssigkeiten und Pulver können nicht direkt gemessen werden – flüssige Proben müssen vor der Messung zunächst zu einem dünnen Film verfestigt werden.
Drei Modelle für unterschiedliche Laboranforderungen – vom manuellen Einstiegsmodell bis hin zu vollautomatischen Hochdurchsatz-Tests.
Vollständige technische Daten für alle drei Modelle. Alle QSNTECH-Messgeräte erreichen eine Messunsicherheit von ≤2% und liegen damit deutlich unter dem Branchenstandard von ≤5%.
| Spezifikation | SZT-2A | SZT-2B | SZT-2C |
|---|---|---|---|
| Resistivität Bereich | 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω·cm | 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω·cm | 10-⁵ ~ 10⁵ Ω-cm |
| Schichtwiderstand | 10⁻⁴ bis 10⁵ Ω/□ | 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ | 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ |
| Widerstandsbereich | 10⁻⁴ bis 10⁵ Ω | 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω | 10-⁵ ~ 10⁵ Ω |
| Aktueller Ausgang | DC 0–100 mA 10 μA / 100 μA / 1 / 10 / 100 mA |
DC 0–100 mA 1 / 10 / 100 μA, 1 / 10 / 100 mA |
0,1 μA–100 mA Stufenlos einstellbar |
| Messfehler | ±0,51 TP3T ±1 Stelle | ±0,51 TP3T ±1 Stelle | ±0,11 TP3T (Spannung) |
| Unsicherheit | ≤2% | ≤2% | ≤2% |
| Anzeige | 4½-stelliges LCD-Display | LCD | 4½-stelliges Farb-LCD |
| Abstand der Sonde | 1mm | 1mm | 1 mm ±0,01 mm Anpassbar |
| Material der Sonde | Wolframkarbid | Wolframkarbid | Wolframkarbid |
| Stichprobengröße | Ø 5–200 mm Länge ≤ 400 mm |
Ø 5–200 mm Länge ≤ 400 mm |
Anpassbar |
| Korrekturfaktor | ✓ Automatisch | ✓ Automatisch | ✓ Automatisch |
| PC-Software | ✓ Im Lieferumfang enthalten | ✓ Im Lieferumfang enthalten | ✓ USB + Software |
| Automatisierte Testplattform | - | Optional | ✓ Im Lieferumfang enthalten |
| Stromversorgung | 220 V ±10% 50/60 Hz < 35 W |
220 V ±10% 50/60Hz |
220 V ±10% 50/60Hz |
| Am besten für | Standardmäßige Verwendung im Labor Dünnschichten und Wafer |
Forschung und Halbleiter Größter Messbereich |
Hoher Durchsatz Industrie und Automatisierung |
Anmerkung zum Korrekturfaktor: Alle drei Modelle wenden den geometrischen Korrekturfaktor (basierend auf der Smits-Formel) automatisch entsprechend der Form und den Abmessungen Ihrer Probe an. Geben Sie einfach die Dicke und den Durchmesser der Probe ein – das Gerät berechnet den korrekten Faktor ohne manuelle Anpassung. Dies ist besonders wichtig für Proben, die im Verhältnis zum Sondendistanz nicht unendlich groß sind.
Die vollständigen Datenblätter stehen unten zum Download bereit. Kontaktieren Sie uns, um die Kompatibilität mit Ihrer spezifischen Probenart zu klären.
Die Sonde ist die wichtigste Komponente in einem Vierpunkt-Messsystem. Die Wahl der richtigen Sondenspitzengeometrie und des richtigen Abstands für Ihren Probentyp wirkt sich direkt auf die Messgenauigkeit aus.
Spitzenradius 1 mm. Geeignet für die meisten Dünnschicht- und Feststoffproben. Standard-Sondenabstand von 1 mm.
Am besten geeignet für: Allgemeine Laboranwendungen, Dünnschichten, Halbleiterwafer
Kleinere Kontaktfläche für empfindliche oder dünne Proben, bei denen ein geringerer Sondendruck und minimale Oberflächenbeschädigungen erforderlich sind.
Am besten geeignet für: empfindliche Folien, weiche Halbleiteroberflächen
Für bestimmte Probenabmessungen oder Forschungsanforderungen sind auch Sonderabstände zwischen den Sonden erhältlich. Bitte teilen Sie uns Ihre Spezifikationen mit.
Am besten geeignet für: Maßgeschneiderte Untersuchungen, nicht standardmäßige Stichprobengrößen
Optionales Upgrade
Das manuelle Anbringen der Messspitzen führt zu Schwankungen bei der ausgeübten Kraft – eine wesentliche Ursache für Messfehler. Die automatische Prüfplattform beseitigt dieses Problem, indem sie bei jeder Messung einen gleichbleibenden, kontrollierten Druck der Messspitzen gewährleistet.
Jedes System der SZT-Serie wird als komplettes, einsatzbereites Paket geliefert. Für den Messbetrieb sind keine zusätzlichen Komponenten erforderlich.
Vor dem Kauf stehen Ihnen alle Unterlagen zur Verfügung. Bitte sehen Sie sich die technischen Daten, Bedienungsanleitungen und Modellvergleiche an, bevor Sie Ihre Anfrage senden.
Unsere Geräte kommen in der akademischen Forschung, in staatlichen Labors und in industriellen Produktionsumgebungen zum Einsatz.
Fachbereiche für Materialwissenschaften, Physik, Elektronik und Chemie, die Dünnschichtproben, Halbleitersubstrate und Forschungsproben untersuchen.
Tsinghua · Beihang · Queensland
Staatliche und private Forschungsinstitute, die fortschrittliche Werkstoffe, neuartige Beschichtungen und experimentelle Halbleiterstrukturen charakterisieren, wobei Messgenauigkeit und Rückverfolgbarkeit der Daten von entscheidender Bedeutung sind.
Qualitätskontrolle in der Produktion von Halbleiterwafern, Überwachung der Dünnschichtabscheidung, Überprüfung der Gleichmäßigkeit von ITO-Beschichtungen sowie Eingangskontrolle von Materialien in der Elektronikfertigung.
Ausführliche Anleitungen aus Sicht des Herstellers, die Ihnen bei der Auswahl, der Verwendung und der optimalen Nutzung Ihres Vierpunkt-Messsystems helfen sollen.
Nein. Das Vierpunkt-Messverfahren erfordert feste Proben mit einer stabilen, ebenen Oberfläche. Flüssigkeiten können nicht direkt gemessen werden. Handelt es sich bei Ihrer Probe um ein Material in flüssiger Phase, muss es vor der Messung zunächst als dünner Film aufgetragen oder verfestigt werden.
Der spezifische Widerstand (Ω·cm) ist eine vom Material selbst bestimmte Eigenschaft, die unabhängig von der Geometrie der Probe ist. Der Schichtwiderstand (Ω/□) wird bei dünnen Schichten mit gleichmäßiger Dicke verwendet – er gibt den Widerstand pro Quadrat beliebiger Größe an. Unsere Messgeräte können beide Werte direkt messen und anzeigen.
Für die meisten materialwissenschaftlichen oder elektronischen Labore an Universitäten ist das Modell SZT-2A oder SZT-2B ausreichend. Wenn Ihr Labor große Probenmengen verarbeitet, Chargenprüfungen durchführen muss oder mit empfindlichen Wafern arbeitet, empfiehlt sich das Modell SZT-2C mit automatischer Prüfplattform.
Die SZT-Serie unterstützt eine Vielzahl von Probengrößen. Die kleinste nutzbare Probenfläche hängt vom Sondenabstand ab. Teilen Sie uns Ihre konkreten Probenabmessungen mit, damit wir die Kompatibilität prüfen und Korrekturfaktoren empfehlen können.
Ja. Alle drei Modelle werden mit einer PC-Software zur Datenerfassung, -speicherung und zum Datenexport geliefert. Die Software zeigt die Messergebnisse in Echtzeit an und ermöglicht den Datenexport zur weiteren Analyse in Excel oder in Labordatenmanagementsystemen.
Ja. Wir liefern an Universitäten, Forschungseinrichtungen und Importeure weltweit. Technische Unterlagen, Bedienungsanleitungen und Kundendienstleistungen werden auf Englisch bereitgestellt. Bitte kontaktieren Sie uns bezüglich der Lieferzeiten und der erforderlichen Zollunterlagen.
Ganz gleich, ob Sie ein Standardmodell oder eine maßgeschneiderte Sondenkonfiguration benötigen oder besprechen möchten, welches System für Ihre Probenart und Ihren Forschungsablauf am besten geeignet ist – unser Team steht Ihnen gerne zur Seite.