위치
저장성 항저우시 산둔타운 주질리 빌딩 1블럭 503호. 중국
모든 연결의 정확성
선도적인 연구 기관들의 신뢰를 받고 있습니다
4점 프로브 측정기는 두 개의 외부 프로브를 통해 전류를 흘려보내고 두 개의 내부 프로브 간 전압을 측정함으로써 고체 물질의 전기 저항, 저항률 및 시트 저항을 측정합니다. 이 4점 프로브 방식은 측정 시 접촉 저항을 제거하므로, 2점 프로브 방식보다 훨씬 더 높은 정확도를 제공합니다.
이는 재료과학 및 반도체 연구 분야에서 박막, 반도체 웨이퍼, 전도성 코팅 및 벌크 고체 시료를 분석하는 데 사용되는 표준적인 방법입니다.
참고: 4점 프로브 시험기는 고체 재료 전용으로 설계되었습니다. 액체와 분말은 직접 측정할 수 없으며, 액체 시료는 시험 전에 먼저 얇은 막 형태로 고체화해야 합니다.
입문용 수동 조작 방식부터 완전 자동화된 고처리량 테스트에 이르기까지, 다양한 실험실 요구 사항에 맞춰 설계된 세 가지 모델입니다.
세 가지 모델 모두에 대한 전체 기술 사양입니다. 모든 QSNTECH 기기는 측정 불확실성이 ≤2%를 달성하며, 이는 업계 표준인 ≤5%보다 훨씬 우수한 수치입니다.
| 사양 | SZT-2A | SZT-2B | SZT-2C |
|---|---|---|---|
| 저항 범위 | 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω·cm | 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω·cm | 10-⁵ ~ 10⁵ Ω-cm |
| 시트 저항 | 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω/□ | 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ | 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ |
| 저항 범위 | 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω | 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω | 10-⁵ ~ 10⁵ Ω |
| 전류 출력 | DC 0–100mA 10μA / 100μA / 1 / 10 / 100mA |
DC 0–100mA 1 / 10 / 100μA, 1 / 10 / 100mA |
0.1μA–100mA 무단계 조절 가능 |
| 측정 오차 | ±0.5% ±1 자리 | ±0.5% ±1 자리 | ±0.1% (전압) |
| 불확실성 | ≤2% | ≤2% | ≤2% |
| 디스플레이 | 4½자리 LCD | LCD | 4½자리 컬러 LCD |
| 프로브 간격 | 1mm | 1mm | 1mm ±0.01mm 사용자 정의 가능 |
| 프로브 재질 | 텅스텐 카바이드 | 텅스텐 카바이드 | 텅스텐 카바이드 |
| 표본 크기 | Ø5–200mm 길이 ≤400mm |
Ø5–200mm 길이 ≤400mm |
사용자 정의 가능 |
| 보정 계수 | ✓ 자동 | ✓ 자동 | ✓ 자동 |
| PC 소프트웨어 | ✓ 포함됨 | ✓ 포함됨 | ✓ USB + 소프트웨어 |
| 자동 테스트 플랫폼 | - | 선택 사항 | ✓ 포함됨 |
| 전원 공급 장치 | 220V ±10% 50/60Hz, 35W 미만 |
220V ±10% 50/60Hz |
220V ±10% 50/60Hz |
| 최상의 대상 | 일반 실험실용 박막 및 웨이퍼 |
연구 및 반도체 가장 넓은 측정 범위 |
고속 처리 산업 및 자동화 |
보정 계수에 관한 참고 사항: 세 가지 모델 모두 시편의 형상과 치수에 따라 (스미츠(Smits)의 공식을 기반으로 한) 기하학적 보정 계수를 자동으로 적용합니다. 시편의 두께와 직경만 입력하면, 기기가 수동 조정 없이 정확한 계수를 계산해 줍니다. 이는 프로브 간격에 비해 시편의 크기가 무한히 크지 않은 경우에 특히 중요합니다.
아래에서 전체 사양서를 다운로드하실 수 있습니다. 특정 시료 유형과의 호환 여부를 확인하시려면 당사로 문의해 주십시오.
프로브는 4점 프로브 시스템에서 가장 중요한 구성 요소입니다. 시료 유형에 맞는 적절한 프로브 팁 형상과 간격을 선택하는 것은 측정 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다.
팁 반경 1mm. 대부분의 박막 및 벌크 고체 시료에 적합합니다. 표준 프로브 간격은 1mm입니다.
적용 분야: 일반 실험실 용도, 박막, 반도체 웨이퍼
프로브 압력을 낮추고 표면 손상을 최소화해야 하는 깨지기 쉬운 시료나 얇은 시료의 경우, 접촉 면적을 줄입니다.
가장 적합한 용도: 깨지기 쉬운 필름, 부드러운 반도체 표면
특정 시료 치수나 연구 요구 사항에 맞춰 비표준 프로브 간격도 제공 가능합니다. 구체적인 사양을 알려주시면 상담해 드리겠습니다.
가장 적합한 용도: 맞춤형 연구, 비표준 표본 크기
선택적 업그레이드
수동으로 프로브를 배치하면 가해지는 힘에 편차가 발생하는데, 이는 측정 오차의 주요 원인입니다. 자동 테스트 플랫폼은 모든 측정 시 일관되고 정밀하게 제어된 프로브 압력을 가함으로써 이러한 문제를 해소합니다.
모든 SZT 시리즈 시스템은 바로 사용할 수 있는 완제품 형태로 배송됩니다. 측정을 시작하는 데 별도의 구성품이 필요하지 않습니다.
구매 전 전체 설명서를 확인하실 수 있습니다. 문의하기 전에 사양, 작동 절차 및 모델 비교 정보를 꼼꼼히 살펴보시기 바랍니다.
당사의 장비는 학술 연구, 정부 연구소 및 산업 생산 현장 등 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
박막 시료, 반도체 기판 및 연구용 시편을 측정하는 재료과학, 물리학, 전자공학 및 화학 학과.
칭화 · 베이항 · 퀸즐랜드
측정 정확도와 데이터 추적 가능성이 매우 중요한 첨단 소재, 신개념 코팅, 실험용 반도체 구조의 특성을 규명하는 정부 및 민간 연구 기관.
전자 제품 제조 분야에서 반도체 웨이퍼의 생산 품질 관리, 박막 증착 모니터링, ITO 코팅 균일도 검사 및 입고 자재 검사.
4점 프로브 시스템을 선택하고, 사용하며, 그 성능을 최대한 활용할 수 있도록 제조사의 관점에서 작성된 심층 가이드입니다.
아닙니다. 4점 프로브 방식은 표면이 평평하고 안정된 고체 시료가 필요합니다. 액체는 직접 측정할 수 없습니다. 시료가 액상 물질인 경우, 측정 전에 먼저 박막 형태로 증착하거나 고체화해야 합니다.
저항률(Ω·cm)은 시료의 형상에 영향을 받지 않는 재료의 체적 특성입니다. 시트 저항(Ω/□)은 두께가 균일한 박막에 사용되며, 이는 크기에 상관없이 1제곱 단위당 저항을 나타냅니다. 당사의 계측기는 이 두 값을 모두 직접 측정하고 표시할 수 있습니다.
대부분의 대학 재료과학 또는 전자공학 실험실의 경우, SZT-2A 또는 SZT-2B 모델로 충분합니다. 실험실에서 시료 처리량이 많거나, 일괄 테스트가 필요하거나, 깨지기 쉬운 웨이퍼를 다루는 경우에는 자동 테스트 플랫폼이 탑재된 SZT-2C 모델을 권장합니다.
SZT 시리즈는 다양한 크기의 시료를 지원합니다. 최소 사용 가능 시료 면적은 프로브 간격에 따라 달라집니다. 구체적인 시료 치수를 알려주시면 호환 여부를 확인해 드리고 보정 계수를 안내해 드리겠습니다.
네. 세 모델 모두 데이터 수집, 저장 및 내보내기를 위한 PC용 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 측정 결과를 실시간으로 표시하며, Excel이나 실험실 데이터 관리 시스템에서 추가 분석을 위해 데이터를 내보낼 수 있도록 지원합니다.
네. 당사는 전 세계의 대학, 연구 기관 및 수입업체에 제품을 수출하고 있습니다. 기술 문서, 사용 설명서 및 사후 지원은 영어로 제공됩니다. 배송 소요 기간 및 통관 서류 요건에 대해서는 당사로 문의해 주시기 바랍니다.
표준 모델이 필요하시든, 맞춤형 프로브 구성이 필요하시든, 아니면 귀하의 시료 유형과 연구 워크플로우에 적합한 시스템이 무엇인지 상담하고 싶으시든 — 저희 팀이 기꺼이 도와드리겠습니다.