고정밀 저항률 및 시트 저항 측정

4점 프로브 테스터

박막, 반도체, 실리콘 웨이퍼 및 고체 물질의 저항률, 시트 저항 및 체적 저항을 실험실 등급의 정밀도로 측정합니다. 칭화대학교, 베이항대학교, 퀸즐랜드 대학교에서 신뢰하고 사용하는 제품입니다.

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✓ 비저항 ✓ 시트 저항 ✓ 대량 저항 ✓ PC 소프트웨어 포함 ✓ 자동 테스트 플랫폼 제공

선도적인 연구 기관들의 신뢰를 받고 있습니다

🎓
칭화대학교
재료과학학과.
🎓
베이항 대학교
전자 연구실
🎓
퀸즐랜드 대학교
호주
🏭
20년 이상
제조 분야 경력

4점 프로브 테스터란 무엇인가요?

4점 프로브 측정기는 두 개의 외부 프로브를 통해 전류를 흘려보내고 두 개의 내부 프로브 간 전압을 측정함으로써 고체 물질의 전기 저항, 저항률 및 시트 저항을 측정합니다. 이 4점 프로브 방식은 측정 시 접촉 저항을 제거하므로, 2점 프로브 방식보다 훨씬 더 높은 정확도를 제공합니다.

이는 재료과학 및 반도체 연구 분야에서 박막, 반도체 웨이퍼, 전도성 코팅 및 벌크 고체 시료를 분석하는 데 사용되는 표준적인 방법입니다.

참고: 4점 프로브 시험기는 고체 재료 전용으로 설계되었습니다. 액체와 분말은 직접 측정할 수 없으며, 액체 시료는 시험 전에 먼저 얇은 막 형태로 고체화해야 합니다.

무엇을 측정할 수 있는가

✓ 박막
✓ 실리콘 웨이퍼
✓ 반도체 소재
✓ 전도성 코팅
✓ ITO 유리
✓ 금속 호일
✓ 대량 고체 시료
✓ 고형화된 박막

주요 적용 분야

✗ 액체 시료
✗ 분말 재료

모델 선택하기

입문용 수동 조작 방식부터 완전 자동화된 고처리량 테스트에 이르기까지, 다양한 실험실 요구 사항에 맞춰 설계된 세 가지 모델입니다.

SZT-2A 4점 프로브 테스터
초급

SZT-2A

컴팩트하고 사용하기 편리합니다. 전용 PC 소프트웨어를 통한 수동 조작이 가능합니다. 박막의 표준 저항률 측정에 이상적입니다. 텅스텐 프로브, 자동 보정 계수, LCD 디스플레이를 갖추고 있습니다.

  • 수동 프로브 조작
  • LCD 디스플레이
  • PC 소프트웨어 포함
  • 자동 보정 계수
  • 1mm 텅스텐 프로브
SZT-2A 상세 정보 보기
가장 인기 있는
SZT-2B 4점 프로브 테스터
표준

SZT-2B

선명한 LCD 인터페이스와 PC 소프트웨어와의 완벽한 연동을 갖춘 첨단 회로 설계. 더 빠른 측정 속도와 데이터 관리가 필요한 다양한 실험실 및 반도체 연구 분야에 적합합니다.

  • 고급 측정 회로
  • 선명한 LCD 화면
  • 데이터 내보내기 기능이 있는 PC 소프트웨어
  • 빠른 측정 주기
  • 반도체 테스트 지원
SZT-2B 상세 정보 보기
SZT-2C 4점 프로브 테스터
고급

SZT-2C

사용자 정의가 가능한 테스트 플랫폼을 통한 완전한 자동화 지원. 대량 처리 방식의 산업 및 연구 환경에 이상적입니다. 정밀한 텅스텐 프로브, 자동화된 데이터 분석, 사용자 정의가 가능한 시료 스테이지를 갖추고 있습니다.

  • 자동 테스트 플랫폼 지원
  • 사용자 정의가 가능한 시료 스테이지
  • 자동화된 데이터 분석
  • 산업용 및 연구용 등급
  • 고속 처리 능력
SZT-2C 상세 정보 보기

상세한 모델 비교

세 가지 모델 모두에 대한 전체 기술 사양입니다. 모든 QSNTECH 기기는 측정 불확실성이 ≤2%를 달성하며, 이는 업계 표준인 ≤5%보다 훨씬 우수한 수치입니다.

사양 SZT-2A SZT-2B SZT-2C
저항 범위 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω·cm 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω·cm 10-⁵ ~ 10⁵ Ω-cm
시트 저항 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω/□ 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□ 10-⁴ ~ 10⁶ Ω/□
저항 범위 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω 10⁻⁴ ~ 10⁶ Ω 10-⁵ ~ 10⁵ Ω
전류 출력 DC 0–100mA
10μA / 100μA / 1 / 10 / 100mA
DC 0–100mA
1 / 10 / 100μA, 1 / 10 / 100mA
0.1μA–100mA
무단계 조절 가능
측정 오차 ±0.5% ±1 자리 ±0.5% ±1 자리 ±0.1% (전압)
불확실성 ≤2% ≤2% ≤2%
디스플레이 4½자리 LCD LCD 4½자리 컬러 LCD
프로브 간격 1mm 1mm 1mm ±0.01mm
사용자 정의 가능
프로브 재질 텅스텐 카바이드 텅스텐 카바이드 텅스텐 카바이드
표본 크기 Ø5–200mm
길이 ≤400mm
Ø5–200mm
길이 ≤400mm
사용자 정의 가능
보정 계수 ✓ 자동 ✓ 자동 ✓ 자동
PC 소프트웨어 ✓ 포함됨 ✓ 포함됨 ✓ USB + 소프트웨어
자동 테스트 플랫폼 - 선택 사항 ✓ 포함됨
전원 공급 장치 220V ±10%
50/60Hz, 35W 미만
220V ±10%
50/60Hz
220V ±10%
50/60Hz
최상의 대상 일반 실험실용
박막 및 웨이퍼
연구 및 반도체
가장 넓은 측정 범위
고속 처리
산업 및 자동화

보정 계수에 관한 참고 사항: 세 가지 모델 모두 시편의 형상과 치수에 따라 (스미츠(Smits)의 공식을 기반으로 한) 기하학적 보정 계수를 자동으로 적용합니다. 시편의 두께와 직경만 입력하면, 기기가 수동 조정 없이 정확한 계수를 계산해 줍니다. 이는 프로브 간격에 비해 시편의 크기가 무한히 크지 않은 경우에 특히 중요합니다.

아래에서 전체 사양서를 다운로드하실 수 있습니다. 특정 시료 유형과의 호환 여부를 확인하시려면 당사로 문의해 주십시오.

왜 QSNTECH인가? 다른 제조사들과 비교했을 때

≤2%
측정 불확도
국내 경쟁사들의 일반적인 사양인 vs ≤5%
0.1mΩ
최소 해상도
저저항 시료용 고정밀 회로
WC
텅스텐 카바이드 프로브
타 브랜드에서 사용하는 고속강 프로브보다 우수합니다
자동차
보정 계수
수동 조정이 필요하지 않습니다 — 모든 모델

프로브 선택 가이드

프로브는 4점 프로브 시스템에서 가장 중요한 구성 요소입니다. 시료 유형에 맞는 적절한 프로브 팁 형상과 간격을 선택하는 것은 측정 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다.

표준 텅스텐 프로브

팁 반경 1mm. 대부분의 박막 및 벌크 고체 시료에 적합합니다. 표준 프로브 간격은 1mm입니다.

적용 분야: 일반 실험실 용도, 박막, 반도체 웨이퍼

미세 팁 프로브

프로브 압력을 낮추고 표면 손상을 최소화해야 하는 깨지기 쉬운 시료나 얇은 시료의 경우, 접촉 면적을 줄입니다.

가장 적합한 용도: 깨지기 쉬운 필름, 부드러운 반도체 표면

사용자 지정 프로브 간격

특정 시료 치수나 연구 요구 사항에 맞춰 비표준 프로브 간격도 제공 가능합니다. 구체적인 사양을 알려주시면 상담해 드리겠습니다.

가장 적합한 용도: 맞춤형 연구, 비표준 표본 크기

전체 프로브 선택 가이드 읽기 →
4-프로브 자동 테스트 플랫폼

선택적 업그레이드

왜 자동 테스트 플랫폼을 선택해야 할까요?

수동으로 프로브를 배치하면 가해지는 힘에 편차가 발생하는데, 이는 측정 오차의 주요 원인입니다. 자동 테스트 플랫폼은 모든 측정 시 일관되고 정밀하게 제어된 프로브 압력을 가함으로써 이러한 문제를 해소합니다.

1
일정한 프로브 압력
작업자에 따른 변동성을 제거합니다. 모든 측정 시 동일한 제어된 힘이 적용됩니다.
2
프로브 수명 연장
제어된 하강 방식은 프로브 끝단의 기계적 부하를 줄여주어, 교체 빈도와 비용을 크게 낮춥니다.
3
더 높은 처리량
측정 주기가 더 빠르며 위치 결정의 재현성이 뛰어납니다. 생산 품질 관리 및 대량 연구 샘플링에 이상적입니다.
4
샘플 보호
과도한 수동 압력으로 인해 깨지기 쉬운 시료나 고가의 시료가 손상되는 것을 방지합니다.

포함 사항

모든 SZT 시리즈 시스템은 바로 사용할 수 있는 완제품 형태로 배송됩니다. 측정을 시작하는 데 별도의 구성품이 필요하지 않습니다.

🖥️
주요 장비
USB 인터페이스 및 4½자리 LCD 디스플레이 탑재
🔧
자동 테스트 프레임
자동 감지 장치, 프로브 압력을 제어합니다
💾
PC 소프트웨어
데이터 수집, 저장 및 내보내기
📖
영어 설명서
전체 운영 및 사양 문서
🔌
케이블
프로브 헤드용 연결 케이블
📍
4점 프로브 헤드
텅스텐 카바이드 팁, 1mm 간격

4점 프로브 테스터는 누가 사용하나요?

당사의 장비는 학술 연구, 정부 연구소 및 산업 생산 현장 등 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.

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대학 학과

박막 시료, 반도체 기판 및 연구용 시편을 측정하는 재료과학, 물리학, 전자공학 및 화학 학과.

칭화 · 베이항 · 퀸즐랜드

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연구 기관

측정 정확도와 데이터 추적 가능성이 매우 중요한 첨단 소재, 신개념 코팅, 실험용 반도체 구조의 특성을 규명하는 정부 및 민간 연구 기관.

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반도체 및 산업

전자 제품 제조 분야에서 반도체 웨이퍼의 생산 품질 관리, 박막 증착 모니터링, ITO 코팅 균일도 검사 및 입고 자재 검사.

기술 자료

4점 프로브 시스템을 선택하고, 사용하며, 그 성능을 최대한 활용할 수 있도록 제조사의 관점에서 작성된 심층 가이드입니다.

📋
4점 프로브 테스터 선택 방법
구매 전 평가해야 할 주요 사항 — 전류 범위, 시료 크기, 프로브 간격, 자동화 요구 사항.
🎓
대학 실험실 조달 가이드
재료과학 및 전자공학과를 위한 실용적인 구매 가이드 — 어떤 사양을 지정해야 하고, 어떤 것은 피해야 하는지.
🔬
박막용 4점 프로브
보정 계수 지침을 활용하여 박막 시료의 시트 저항 및 체적 저항률을 정확하게 측정하는 방법.
⚡
4점 프로브의 다양한 응용 분야
반도체 웨이퍼부터 ITO 유리에 이르기까지 — 측정 응용 분야 및 시료 유형에 대한 포괄적인 개요.
🤖
자동 테스트 플랫폼 대 수동 테스트 플랫폼
자동 및 수동 프로브 스탠드의 상세한 비교 — 정확도, 프로브 수명, 처리량 및 비용.
🔩
프로브 선택 가이드
특정 시료 유형 및 측정 용도에 맞는 프로브 팁 형상, 간격 및 재질을 선택하는 방법.

자주 묻는 질문

액체나 분말을 계량할 수 있나요?

아닙니다. 4점 프로브 방식은 표면이 평평하고 안정된 고체 시료가 필요합니다. 액체는 직접 측정할 수 없습니다. 시료가 액상 물질인 경우, 측정 전에 먼저 박막 형태로 증착하거나 고체화해야 합니다.

저항률과 시트 저항의 차이점은 무엇인가요?

저항률(Ω·cm)은 시료의 형상에 영향을 받지 않는 재료의 체적 특성입니다. 시트 저항(Ω/□)은 두께가 균일한 박막에 사용되며, 이는 크기에 상관없이 1제곱 단위당 저항을 나타냅니다. 당사의 계측기는 이 두 값을 모두 직접 측정하고 표시할 수 있습니다.

우리 대학 실험실에는 어떤 모델이 적합할까요?

대부분의 대학 재료과학 또는 전자공학 실험실의 경우, SZT-2A 또는 SZT-2B 모델로 충분합니다. 실험실에서 시료 처리량이 많거나, 일괄 테스트가 필요하거나, 깨지기 쉬운 웨이퍼를 다루는 경우에는 자동 테스트 플랫폼이 탑재된 SZT-2C 모델을 권장합니다.

어떤 크기와 두께의 시료를 측정할 수 있나요?

SZT 시리즈는 다양한 크기의 시료를 지원합니다. 최소 사용 가능 시료 면적은 프로브 간격에 따라 달라집니다. 구체적인 시료 치수를 알려주시면 호환 여부를 확인해 드리고 보정 계수를 안내해 드리겠습니다.

PC용 소프트웨어와 데이터 내보내기 기능을 제공하나요?

네. 세 모델 모두 데이터 수집, 저장 및 내보내기를 위한 PC용 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 측정 결과를 실시간으로 표시하며, Excel이나 실험실 데이터 관리 시스템에서 추가 분석을 위해 데이터를 내보낼 수 있도록 지원합니다.

해외 배송이 가능한가요? 기술 지원도 제공해 주시나요?

네. 당사는 전 세계의 대학, 연구 기관 및 수입업체에 제품을 수출하고 있습니다. 기술 문서, 사용 설명서 및 사후 지원은 영어로 제공됩니다. 배송 소요 기간 및 통관 서류 요건에 대해서는 당사로 문의해 주시기 바랍니다.

주문을 하실 준비가 되셨나요, 아니면 기술적인 문의 사항이 있으신가요?

표준 모델이 필요하시든, 맞춤형 프로브 구성이 필요하시든, 아니면 귀하의 시료 유형과 연구 워크플로우에 적합한 시스템이 무엇인지 상담하고 싶으시든 — 저희 팀이 기꺼이 도와드리겠습니다.

📧 sales@testleadsworld.com 💬 WhatsApp: +86 13906512387 ⏱ 12시간 이내 답변
구텅바오 비안지-감사합니다.